°úÇбâ¼úÁ¤º¸Åë½ÅºÎ¿Í ±âÃÊ°úÇבּ¸¿ø ³ª³ëÀÔÀÚ ¿¬±¸´Ü ±è´ëÇü ºÎ¿¬±¸´ÜÀå, ÇöÅÃȯ ´ÜÀåÀº ¼¼°è ÃÖ°í ¼º´ÉÀÇ ³ª³ë¹Ú¸· Àü±ØÀ» °³¹ßÇß°í, ±¹Á¦ÇмúÁö »çÀ̾𽺿¡ °ÔÀçµÇ¾ú´Ù°í ¹àÇû´Ù.
À̹ø ¿¬±¸´Â ¡®¼ö»ó Á¤·Ä ¹æ¹ý(Float assembly method)¡¯À̶ó´Â »õ·Î¿î °³¹ß ¹æ¹ýÀ» ÅëÇØ ±âÁ¸ÀÇ ¹æ¹ýÀ¸·Î´Â ±¸ÇöÇÒ ¼ö ¾ø¾ú´ø ³ôÀº Àüµµ¼º, ³ª³ë µÎ²², ¿ì¼öÇÑ ½ÅÃ༺ µîÀ» ¸ðµÎ Áö´Ñ °í¼º´É ³ª³ë¹Ú¸· Àü±ØÀ» Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ Á¡¿¡¼ Àǹ̰¡ ÀÖ´Ù.
°í¼º´É ³ª³ë¹Ú¸· Àü±ØÀº ±Ý¼Ó¸¸Å Àü±â°¡ Àß ÅëÇϸ鼵µ, ¸Ó¸®Ä«¶ô µÎ²² 1/300 ¼öÁØ(250nm)À¸·Î ¾ã°í, ³ôÀº ½ÅÃ༺À» Áö³à ÇǺΠºÎÂøÇü Âø¿ë±â±â(¿þ¾î·¯ºí µð¹ÙÀ̽º)ÀÇ ÇÙ½É ºÎÇ°À¸·Î ÀÀ¿ëµÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
ÇǺΠºÎÂøÇü Âø¿ë±â±â´Â ±â°èÀû ¹°¼ºÀÌ ÇǺÎÀÇ ¹°¼º°ú ºñ½ÁÇÑ Æ¯¼ºÀ» °¡Á®¾ß ÇÑ´Ù.
µû¶ó¼ µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ÇÙ½É ºÎÇ°ÀÎ Àü±ØÀº ¿ì¼öÇÑ ½ÅÃ༺, ³ôÀº Àü±â Àüµµ¼º, ¾ãÀº µÎ²²´Â ¹°·Ð °íÇØ»óµµ ÆÐÅÍ´×µµ °¡´ÉÇØ¾ß ÇÑ´Ù.
¿ì¼öÇÑ ½ÅÃ༺°ú °íÀüµµ¼º, ¾ãÀº µÎ²² µîÀ» ¸ðµÎ ¸¸Á·ÇÏ´Â Àü±ØÀ» °³¹ßÇÏ´Â °ÍÀº ¸Å¿ì ´Þ¼ºÇϱ⠾î·Á¿î ¸ñÇ¥·Î ¿©°ÜÁ³Áö¸¸, À̹ø ¿¬±¸·Î °³¹ßµÈ ¡®¼ö»ó Á¤·Ä ¹æ¹ý¡¯À» ÅëÇØ °¡´ÉÇØÁ³´Ù.
À̹ø °³¹ßµÈ ³ª³ë¹Ú¸· Àü±ØÀÇ Àü±â Àüµµµµ´Â 10¸¸S/§¯·Î ±Ý¼Ó°ú À¯»çÇÑ ¼öÁØÀ̸ç, ¿ø·¡ ±æÀÌÀÇ 10¹è±îÁö ´Ã¾î³ªµµ ±â°èÀû °áÇÔ ¾øÀÌ Àü±âÀû ¼ºÁúÀÌ À¯ÁöµÈ´Ù.
µÎ²²´Â 250nm ¼öÁØÀ¸·Î ¸Å¿ì ¾ã¾Æ ÇǺÎó·³ ±¼°îÀÌ Àִ ǥ¸é¿¡µµ Âø ´Þ¶óºÙÀ» ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú´Ù.
¶ÇÇÑ, Àڿܼ± Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇǸ¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¼±Æø 20§ °íÇØ»óµµ ÆÐÅʹ׿¡µµ ¼º°øÇß´Ù. ³ª³ë¹Ú¸· Àü±ØÀ» ¿øÇÏ´Â ÇüÅ·ΠÀç´ÜÇÏ¿© ´Ù¾çÇÑ ÀüÀÚ¼ÒÀÚ·Î ¸¸µé ¼ö ÀÖÀ½À» ÀǹÌÇÑ´Ù.
¿¬±¸ÁøÀº ³ª³ë¹Ú¸· Àü±ØÀ» ÀÌ¿ëÇØ ÇǺΠºÎÂøÇü ´Ù±â´É ÀûÃþ µð¹ÙÀ̽º¸¦ °³¹ßÇÏ¿´°í ÇǺο¡¼ ±ÙÀüµµ, ½Àµµ, ¿Âµµ, ÀÎÀå·Â µî ´Ù¾çÇÑ »ýü½ÅÈ£¸¦ µ¿½Ã¿¡ ¸ð´ÏÅ͸µ ÇÒ ¼ö ÀÖÀ½À» Áõ¸íÇß´Ù.
ÇöÅÃȯ ´ÜÀåÀº ¡°¼ö»ó Á¤·Ä ¹æ¹ýÀÌ ±Ý¼Ó ÀüµµÃ¼ ³ª³ë¼ÒÀç»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ¹ÝµµÃ¼, ÀÚ¼ºÃ¼ µîÀÇ ¿©·¯ Á¾·ùÀÇ ³ª³ë¼ÒÀçµé°ú °í¹«¸¦ Á¶ÇÕÇÒ ¼ö Àֱ⠶§¹®¿¡, ´Ù¾çÇÑ °í±â´É¼º ½ÅÃ༺ ³ª³ë¼ÒÀç·Î °³¹ß µÉ °Í¡±À¸·Î ±â´ëÇß´Ù.