2024.03.28 20:15 |
¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ ±¹»êÈ­ »¡¶óÁø´Ù
2020/01/15 18:43 ÀÔ·Â
Æ®À§ÅÍ·Î ±â»çÀü¼Û ÆäÀ̽ººÏÀ¸·Î ±â»çÀü¼Û ±¸±Û+·Î ±â»çÀü¼Û C·Î±×·Î ±â»çÀü¼Û
µ¿Áø½ê¹ÌÄÍ, Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® Áõ¼³°øÀå Âø°øÀ¸·Î °ø±Þ¾ÈÁ¤¼º °­È­ ±â´ë
ÀϺ»ÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ ÀÌÈÄ ¹ÝµµÃ¼¿Í µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÇ ±¹»êÈ­°¡ ¼Óµµ°¨ ÀÖ°Ô ÀÌ·ïÁö°í ÀÖ´Ù.

Á¤½ÂÀÏ »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ Â÷°üÀº 15ÀÏ ¿ÀÈÄ °æ±âµµ È­¼º¿¡ ÀÖ´Â ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ¼ÒÀç ±â¾÷ µ¿Áø½ê¹ÌÄÍÀ» ¹æ¹®Çß´Ù.

ÀÌ ±â¾÷Àº ºÒÈ­¾Æ¸£°ï ¾×ħ(ArF-immersion) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ Áö³­ 2010³â ±¹³» ÃÖÃÊ·Î °³¹ß¡¤»ý»êÇÑ ¾÷ü·Î ¿Ã 1ºÐ±â Áß ºÒÈ­Å©¸³Åæ(KrF), ºÒÈ­¾Æ¸£°ï(ArF) µîÀÇ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® »ý»ê °øÀå Áõ¼³¿¡ ³ª¼³ °èȹÀÌ´Ù.

³»³â ÃÊ ÀÌ ½Ã¼³ÀÌ Á¤»ó °¡µ¿µÇ¸é µ¿Áø½ê¹ÌÄÍÀº Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ ÇöÀ纸´Ù 2¹è ÀÌ»ó È®´ë »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ´Ù.

1.JPG
¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ¼ÒÀç±â¾÷ÀÎ µ¿Áø½ê¹ÌÄÍ ¹æ¹®ÇÑ Á¤½ÂÀÏ »ê¾÷ºÎ Â÷°ü (»çÁø = »ê¾÷ºÎ Á¦°ø)

Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ¹ÝµµÃ¼¿Í µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶ °úÁ¤¿¡¼­ ±âÆÇ À§¿¡ ÀüÀÚȸ·Î ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇϱâ À§ÇØ »ç¿ëÇÏ´Â °¨±¤Àç´Ù.

¹ÝÀÀÇÏ´Â ºûÀÇ ÆÄÀå¿¡ µû¶ó KrF(248nm), ArF(193nm), EUV(±ØÀڿܼ±, 12.5nm) µîÀ¸·Î ±¸ºÐÇÏ¸ç ¹ÝÀÀÇÏ´Â ºûÀÇ ÆÄÀåÀÌ ÂªÀ»¼ö·Ï °øÁ¤ ¹Ì¼¼È­°¡ °¡´ÉÇÏ´Ù.

Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ±×µ¿¾È ´ëºÎºÐ ÀϺ»¿¡¼­ ¼öÀÔÇØ ¿ÔÀ¸³ª ÀϺ»ÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ ÀÌÈÄ ±× ÀÇÁ¸µµ¸¦ ³·Ãß¸ç °ø±Þ¾ÈÁ¤¼ºÀ» ºü¸£°Ô È®º¸ÇØ °¡°í ÀÖ´Ù.

º§±â¿¡, ¹Ì±¹, µ¶ÀÏ µîÀ¸·Î ¼öÀÔ±¹À» ´Ùº¯È­ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÃÖ±Ù¿¡´Â µàÆùÀ¸·ÎºÎÅÍ EUV¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °³¹ß¡¤»ý»ê ½Ã¼³ ±¸ÃàÀ» À§ÇÑ Çѱ¹ ÅõÀÚ¸¦ È®Á¤¹Þ±âµµ Çß´Ù. ¾Æ¿ï·¯ ±¹³» ±â¼ú °³¹ß°ú »ý»ê ½Ã¼³ È®Ãæµµ ÀÌ·ïÁö°í ÀÖ´Ù.

Á¤ Â÷°üÀº ¡°ÀÛ³â 7¿ù ÀϺ» ¼öÃâ ±ÔÁ¦ ÀÌÈÄ ¹Î°üÀÌ ÇÔ²² ³ë·ÂÇÑ °á°ú Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ ÇٽɼÒÀçÀÇ °ø±Þ ¾ÈÁ¤¼ºÀÌ È®º¸µÇ¾î °¡°í ÀÖ´Ù¡±¸ç ±â¼ú °³¹ß¿¡ ¸ÅÁøÇØ ¿Â µ¿Áø½ê¹ÌÄÍ ÀÓÁ÷¿øµé¿¡°Ô °¨»ç¸¦ Ç¥Çß´Ù.

¶ÇÇÑ ¡°¿ÃÇظ¦ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ »ê¾÷ °æÀï·Â È®º¸ÀÇ ¿ø³âÀ¸·Î »ï°í ´ë¿Ü ¿©°Ç º¯È­¿¡ °ü°è¾øÀÌ °æÀï·Â °­È­ Á¤Ã¥À» Áö¼ÓÀûÀÌ°í ÀÏ°üµÇ°Ô ÃßÁøÇØ ³ª°¡°Ú´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
[ ·ù¼®±Õ ±âÀÚ jisik4523@newskan.com ]
·ù¼®±Õ ±âÀÚ ±âÀÚÀÇ ´Ù¸¥ ±â»ç º¸±â
±â»çÁ¦º¸ ¹× º¸µµÀÚ·á fmbook@naver.com
´º½ºÄ­(www.newskan.com) - copyright ¨Ï °æÁ¦½Å¹® No.1 ´º½ºÄ­. ¹«´ÜÀüÀç & Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö

樨毢

È­Á¦ÀÇ µ¿¿µ»ó
  • ȸ»ç¼Ò°³
  • ±¤°í¾È³»
  • Á¦ÈÞ·±¤°í¹®ÀÇ
  • ±â»çÁ¦º¸
  • Á¤±â±¸µ¶½Åû
  • ´ÙÀÌ·ºÆ®°áÁ¦
  • °í°´¼¾ÅÍ
  • ÀúÀÛ±ÇÁ¤Ã¥
  • ȸ¿ø¾à°ü
  • °³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æħ
  • À̸ÞÀÏÁÖ¼Ò¹«´Ü¼öÁý°ÅºÎ
  • RSS
  • ¸íĪ : (ÁÖ)¹Ì·¡¿Í°æ¿µ | ÁÖ¼Ò : ¼­¿ïƯº°½Ã ±Ýõ±¸ °¡»êµðÁöÅÐ1·Î 84, 11Ãþ | ÀÎÅͳݽŹ®µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï ¾Æ02668 | Á¦È£ : ´º½ºÄ­
    µî·ÏÀÏÀÚ, ¹ßÇàÀÏÀÚ : 2013.05.28 | ¹ßÇàÀÎ,ÆíÁýÀÎ : Á¶Ç强 | Åë½ÅÆǸž÷½Å°í : Á¦2016-¼­¿ï±Ýõ-1118È£ | E-mail : fmbook@naver.com
    »ç¾÷ÀÚµî·Ï¹øÈ£ : 220-81-81950 | ÀüÈ­¹øÈ£ : 02)837-1107 | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : ±è¿µ¹è
    Copyrights © NEWSKAN. All rights reserved. 
    °æÁ¦½Å¹® No.1 ´º½ºÄ­ÀÇ ¸ðµç ÄÜÅÙÃ÷(±â»ç)´Â ÀúÀ۱ǹýÀÇ º¸È£¸¦ ¹Þ½À´Ï´Ù. ¹«´Ü ÀüÀç·º¹»ç·¹èÆ÷ µîÀ» ±ÝÇÕ´Ï´Ù.