»ï¼ºÀüÀÚ°¡ 0.64 ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ Çȼ¿ 2¾ï°³¸¦ 1/1.22ÀÎÄ¡ ¿ÉƼÄÃÆ÷¸Ë Å©±â¿¡ ±¸ÇöÇÑ ¾ÆÀ̼Ҽ¿ HP1 ½ÅÁ¦Ç°À» °ø°³Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â 2019³â, ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è ±â¼ú°ú ³ëÇϿ츦 ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î 1¾ï800¸¸ È¼Ò À̹ÌÁö¼¾¼¸¦ Ãâ½ÃÇÑ ÀÌÈÄ 2³â ¸¸¿¡ ´Ù½Ã ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î 2¾ï È¼Ò Á¦Ç°À» Ãâ½ÃÇϸç Â÷¼¼´ë ¸ð¹ÙÀÏ ±â±âÀÇ Ä«¸Þ¶ó º¯È¸¦ ÁÖµµÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ƯÈ÷ ÀÌ Á¦Ç°Àº 0.64 ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ Çȼ¿À» ÀÌ¿ëÇØ ±âÁ¸ 1¾ï800¸¸ È¼Ò Á¦Ç° ´ëºñ È¼Ò ¼ö¸¦ ¾à 85% ¸¹ÀÌ Å¾ÀçÇϸ鼵µ ¿ÉƼÄÃÆ÷¸ËÀÇ Å©±â Áõ°¡´Â ÃÖ¼ÒÈÇß´Ù.
ÀÌ Á¦Ç°ÀÇ °¡Àå Å« Ư¡Àº ÃÔ¿µ ȯ°æ¿¡ µû¶ó 4°³ ȤÀº 16°³ÀÇ ÀÎÁ¢ Çȼ¿À» Á¶ÇÕÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ µ¶ÀÚ ½Å±â¼ú ¡®Ä«¸á·¹¿Â¼¿(ChameleonCell)¡¯ÀÌ ÃÖÃÊ·Î Àû¿ëµÈ °ÍÀÌ´Ù.
ºûÀÌ ÃæºÐÇÒ ¶§´Â 0.64 ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍÀÇ ¹Ì¼¼ Çȼ¿À» È°¿ëÇÏ°í, ¾ß°æÀ̳ª ½Ç³»Ã³·³ ¾îµÎ¿î °æ¿ì¿¡´Â 1.28 ȤÀº 2.56 ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ Çȼ¿Ã³·³ ¼ö±¤ ¸éÀûÀ» ³ÐÇô ¹à°í ¼±¸íÇÑ »çÁøÀ» ÂïÀ» ¼ö ÀÖ´Ù.
¶ÇÇÑ °íÈÁú µ¿¿µ»óÀ» ÃÔ¿µÇÒ ¶§´Â ÀÎÁ¢ Çȼ¿ 4°³¸¦ ÇϳªÃ³·³ µ¿ÀÛ ½ÃÄÑ È°¢ ¼Õ½Ç ¾øÀÌ ÃÊ´ç 30ÇÁ·¹ÀÓÀ¸·Î 8K °íÇØ»óµµ ¿µ»óÀ» ÃÔ¿µÇÏ´Â ±â¼úµµ žÀçÇß´Ù.
¾ÆÀ̼Ҽ¿ GN5´Â 1/1.57ÀÎÄ¡ ¿ÉƼÄÃÆ÷¸Ë¿¡ 1.0 ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ Çȼ¿ 5000¸¸ °³¸¦ ±¸ÇöÇÑ ¾÷°è ÃÖ¼Ò Å©±âÀÇ ¡®µà¾ó Çȼ¿¡¯ Á¦Ç°ÀÌ´Ù.
ÀϹÝÀûÀ¸·Î Çȼ¿¿¡´Â ºûÀ» ¸ðÀ¸´Â Æ÷Åä´ÙÀÌ¿Àµå°¡ ÇÑ °³ Àִµ¥, µà¾ó Çȼ¿ Á¦Ç°¿¡´Â ¸ðµç Çȼ¿ÀÌ µÎ °³ÀÇ Æ÷Åä´ÙÀÌ¿Àµå¸¦ žÀçÇÑ´Ù.
¼¾¼ÀÇ ¸ðµç Çȼ¿ÀÌ ÃÊÁ¡À» ¸ÂÃß´Â µ¿½Ã¿¡ »ö Á¤º¸µµ ¹Þ¾ÆµéÀÏ ¼ö ÀÖ¾î¼ ÈÁú ¼Õ»ó ¾øÀÌ ºü¸£°í Á¤È®ÇÑ ÀÚµ¿ ÃÊÁ¡ ±â´ÉÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀÌ Á¦Ç°¿¡ ¡®µà¾ó Çȼ¿ ÇÁ·Î¡¯ ±â¼úÀ» È°¿ëÇß´Ù.
ÀϹÝÀûÀÎ µà¾ó Çȼ¿ Á¦Ç°ÀÌ ÀÚµ¿ ÃÊÁ¡À» ¸ÂÃß±â À§ÇØ ÇÇ»çüÀÇ Á¡¤¿ì À§»óÂ÷¸¸ È°¿ëÇÏ´Â ¹Ý¸é, ÀÌ Á¦Ç°Àº »ó¡¤ÇÏ¡¤Á¡¤¿ì À§»óÂ÷¸¦ ¸ðµÎ È°¿ëÇÔÀ¸·Î½á ÀÚµ¿ ÃÊÁ¡ ¼º´ÉÀ» ÇÑÃþ °ÈÇß´Ù.
ƯÈ÷ Çȼ¿ »çÀÌ¿¡ Àý¿¬ºÎ¸¦ Çü¼ºÇÏ´Â FDTI (Front Deep Trench Isolation) °ø¹ýÀ» óÀ½À¸·Î µà¾ó Çȼ¿ ±¸Á¶¿¡ ÃÖÀûÈÇØ Æ÷Åä´ÙÀÌ¿Àµå »çÀÌ¿¡µµ ºÎºÐÀûÀ¸·Î Àû¿ëÇß´Ù.
À̸¦ ÅëÇØ Ãʹ̼¼ ±â¼ú Àû¿ë¿¡ µû¶ó ¹ß»ýÇϴ ȥ»ö(Crosstalk)À» ÃÖ¼ÒÈÇÏ°í ÀüÇÏ ÀúÀå¿ë·®(Full Well Capacity)À» ±Ø´ëÈÇØ 1.2 ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ µà¾ó Çȼ¿ Á¦Ç°°ú µ¿ÀÏÇÑ ¼öÁØÀÇ ¼º´ÉÀ» ±¸ÇöÇß´Ù.
¶ÇÇÑ ÀÌ Á¦Ç°Àº ºûÀÌ Ç³ºÎÇÑ °÷¿¡¼´Â ÇϳªÀÇ Æ÷Åä´ÙÀÌ¿Àµå¸¦ ÇϳªÀÇ Çȼ¿Ã³·³ È°¿ëÇÏ´Â Ä÷¯ ÇÊÅÍ Àç¹èÄ¡ ¾Ë°í¸®ÁòÀ» ÅëÇØ 1¾ï ȼÒÀÇ °íÈÁú »çÁøµµ ÃÔ¿µÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.